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- 在半导体制造的精密链条中，光刻机作为芯片制造的“心脏”，其晶圆上下料环节的稳定性直接影响良品率。当晶圆厚度逼近0.7毫米、表面电路精度达纳米级时，传统气动夹爪因夹持力波动大、颗粒污染风险高等问题逐渐被淘汰，而能实现0.1N级精确力控的电动夹爪正成为行业标配。本文从技术参数、环境适应性、智能化功能三大维度，解析光刻机晶圆夹取场景下电动夹爪的选型要点。一、力控精度：0.1N级微力调节的“技术护城河”晶圆作为硅基材料，其表面电路对机械 【更多详情】
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